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MEMS(微机电系统)_搜狗百科

其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统，侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域，广泛应用于高新技术产业。 中文名 ...

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