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微機電系統原理與應用
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http://ir.lib.isu.edu.tw/retrieve/88735/etd-0727111-112700.pdf
微機電系統靜電接觸耦合分析之研究 - 義守大學
靜電接觸耦合是微機電系統(MEMS)結構在動作時所產生的效應之一,本研究主要建 ... 早期微機電系統是以半導體技術應用在機械上,但近年來微機電系統的發展已經擴.
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