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氮化鎵發光二極體光取出效率提升的研究 - 國立交通大學機構典藏

2.7.1 微影製程. ... 內部量子效率(ηint)其定義為﹕每秒從發光層放射出的光子數與 ... 微影製程所使用的光阻，可分為正光阻和負光阻，一般LED將負.

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