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濕蝕刻ptt 臺積濕蝕刻製程 - Eoisg

一般學界製作光罩的方式以濕蝕刻為主流， 主要是買來現成鍍好cr 跟塗上一層AZ 1518的一片五吋玻璃先用雷射微影設備將光阻曝光，然後顯影，然後再去用商用Cr etchant ...

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