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奈米壓印微影技術之機會與挑戰

微影或電子束微影，再加上乾蝕刻製. 程製作而成；(2)用於壓印的聚合物. (Polymer)材料與 ... 米壓印微影設備。 Stamp. T. P t t. T1. T2. T0. Polymer Film. Silicon ...

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