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疫情影響EUV 微影設備交貨，三星旗下5nm 製程技術可能延後

相關消息指稱，由於新型冠狀病毒疫情影響，導致三星原本向荷蘭ASML訂購EUV微影設備出口交貨受影響，進而造成其5nm製程技術應用佈署將因此延後。

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