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微影設備是什麼
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https://books.google.com.tw/books?id=-UFIEAAAQBAJ&pg=PA178&lpg=PA178&dq=%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E8%A8%AD%E5%82%99%E6%98%AF%E4%BB%80%E9%BA%BC&source=bl&ots=Ag_aLAivm5&sig=ACfU3U3EZb2PkTYIb9--69IOeUl6HqnXFA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwilt4ODpJ7_AhXAU6QEHSBcCYMQ6AF6BQi1AhAD
台積電為什麼神?:揭露台灣護國神山與晶圓科技產業崛起的祕密
... 其中最受矚目的就是提供半導體關鍵設備 EUV 的荷商艾司摩爾(ASML),它在極紫外光微影製程技術領域遙遙領先,也因此,這種設備的訂價是它自己說了算。
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