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微影設備是什麼
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日本「放大絕」斷中國芯!7月出手! 不只14奈米!40奈米以下 ...
其中有4項微影曝光設備包括: EUV曝光薄膜設備、EUV曝光的薄膜製造 ... 此外還有薄膜沉積設備,日本政府還另外拉出11 點來解釋哪些設備是列入管制內。
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