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北美智權報第123期：微影顯像： EUV的替代品會是什麼？

Kevin Cummings是SEMATECH微影顯像部門的處長，他說，「聽到IBM與ASML共同 ... Veeco公司是EUV多層沉積設備的獨家供應商，有計劃升級現有的Odyssey ...

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