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台積公司取得艾司摩爾超紫外光微影設備以研發新世代製程

台積公司與荷蘭艾司摩爾（ASML）公司今(22)日共同宣佈，台積公司將取得ASML公司TWINSCAN™ NXE:3100 － 超紫外光(Extreme Ultra-violet，EUV)微影設備，是 ...

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