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微影設備是什麼
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一些微影資訊 - Dream come true
儘管如此,浸潤式微影技術還是有其物理極限,因此微影設備供應商皆紛紛投資研發次世代微影技術。ASML認為,極紫外光技術(Extreme Ultraviolet , EUV)是 ...
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