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微影設備是什麼
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台積電有危險?美企竟做出0.7奈米晶片 - 全一電子
艾司摩爾(ASML)還在為製造2奈米、1奈米必用極紫外光(EUV)設備努力之際 ... 儘管EBL技術的精密度超越艾司摩爾EUV微影設備,但缺點是產量很低,無法 ...
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