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領袖觀點｜新世代奈米微影製程設備發展趨勢與展望 - 機械工業網

由技術發展史角度，EUV微影設備只靠一間公司研發是無法成為量產技術的，原本上世紀的微影曝光設備霸主日本Nikon因種種原因無法延續大規模投入EUV技術研發 ...

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