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應用材料提升High-NA EUV微影製程良率 - 新通訊

晶片製造商在微影成像機(lithography scanner)將圖案從光罩轉移到光阻後， ... 已驗證的開發和製程設備，且多家DRAM客戶將該系統選為已驗證製程設備。

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