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微影設備是什麼
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新聞內文
繼封鎖EUV(極紫外光)微影設備出口中國之後,據了解,美方將進一步 ... 浸潤式DUV設備是40/45製程(含)以下至7奈米製程的主流設備,目前中國本土廠商 ...
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