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極紫外光微影技術實驗設施 - 國家同步輻射研究中心

第二期計畫的重點工作除了建構EUV 檢測系統技. 術外，主要是建造一座專屬的EUV 光束線，以供相關. 產學研究使用。基於生產率的考量，雖然商用EUVL 量. 產設備仍採用大功率 ...

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