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微影設備是什麼
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EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
不過即使採用了DUV,由於這兩年台積電製程已經走到10奈米以下,不再能滿足現在的微影需求,因此,像微影製程設備商ASML艾司摩爾,就研發出可使用波長只有 ...
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