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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 核能研究所

而半導體製程中的微影技術可說是整個半導體工業相當關鍵的製程，因為目前花費在微 ... 曝光技術應可製造出數奈米半間距的圖案，則半導體量產中最要的設備之一或許將走 ...

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