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微影設備是什麼
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微影光罩之製造方法以及進行微影製程之方法 - Google Patents
這是因為氣體分子吸收極紫外光,用於極紫外光微影圖案化的微影系統被維持在真空環境中以避免極紫外光之強度損失。在本發明實施例中,光罩(mask 或photomask)以及光標( ...
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