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讓摩爾定律成真的關鍵： 微影技術— 影響七十億以上個未來

製程中的微影（lithography）技術可說是整個半導體工業相當關鍵的製程，因為目前花費在微影製程的 ... 此後再把這晶片放入適當的蝕刻設備中去侵蝕（etch）.

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