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微影設備是什麼
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http://phy2.thu.edu.tw/web/news/detail.php?cid=6&id=622
第33屆系友陳俊光返系演講,分享他在半導體產業界的經歷
微影設備 本質上是一個投影系統,利用光線穿透印有電路圖的光罩,在矽晶片上投印出電路圖。 參見:什麼是微影製程? 全球瘋搶EUV 曝光機!
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