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國立陽明交通大學機構典藏：極紫外光微影技術從光源建造、光罩

相對於電子書寫技術，EUVL可延續傳統光學微影的方法以光罩曝光進行晶片量產， ... 與檢測技術的主要目的是研發創新的EUVL檢測技術(高效率光罩檢測與EUV干涉微影設備)以 ...

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