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挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程

光源是美國Cymer 公司提供的。 因為是第一次採用雷射電漿（laser-produced plasma，LPP）技術來產生波長為13.5 奈米的EUV 光， ...

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