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By ASML | 【ASML一個早餐的故事☕️｜從高壓汞燈到EUV極 ...

ASML一個早餐的故事☕️｜從高壓汞燈到EUV極紫外光☄️】​ ​ ASML 微影設備 使用的光源主要是紫外光，紫外光照射到晶圓上預先塗布的光阻劑來達到曝光效果。

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