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微影照像

光罩在要求的公差之內，在晶圓上對準，然後輻射照在晶圓. 之上，阻劑影像顯影（development），阻劑下層被蝕刻掉。 圖1.1 幾種ULSI的微影照像製程. （資料來源：Chang and ...

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