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微機電製程技術於光開關製作之應用 - 台灣儀器科技研究中心

成、微影及蝕刻等製程，配合犧牲層(sacrificial layer) 蝕刻技術在矽晶片上製作微機械元件，只是. 當時還沒有面型矽微加工這個名詞。面型矽微加工.

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