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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 - IR

中英文摘要…………………………………………………..………. ... (1)先將顯微鏡微影系統與半導體製程中I-line UV(365 nm)光源曝光整合，並設計其光學 ... 連續沈積完後，利用微影製程定義TFT.

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