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黃光製程英文翻譯 - Chris Moore

微影製程 (Lithography) 基片(Substrate) 基片光阻(PR, Photoresist) 光阻塗佈Coating 暫時在晶圓上塗佈光阻劑將設計圖案轉移至光阻劑為IC製程中最重要之步驟占晶圓總 ...

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