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Chap6 微影PDF

顯示兩種微影之後的主要後續製程步驟： (a) 蝕刻；和( b) 離子植入 ... 先進微影技術‹光源方面，除了248nm的深紫外線外，波長更短的193nm DUV光源技術，已進入量產階段。 ‹ ...

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