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以微透鏡陣列式光罩進行特殊微奈米結構技術開發

光微影製程主要包含光阻塗佈、軟烤、. 曝光、微影及硬烤，但本製程之微透鏡結構. 須以高溫熱熔處理，故省略硬烤之步驟。值. 得注意的是在光微影製程中需準確控制各項. 參數 ...

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