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圖案化解決方案

圖案化(Patterning)涉及一整套製程步驟─ 包括微影、沉積、與蝕刻─ 用來形成非常微小、複雜的晶片特徵結構。每一個新世代，元件尺寸都會持續微縮。對先進結構來說 ...

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