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公告本

接著,對第一光阻層160進行微影製程以形成第一光阻層. 160a,如圖1D 所示,其暴露出透明基板110的第二區130。 微影製程例如以雷射或是電子束進行曝光。暴露出的第二. 區130 所 ...

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