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光學微影的限制

下游相容性 指的是微影結果對於後續製程步驟的合適性。在蝕刻與佈值步驟後須耗費大量心力來剝除光阻層。所謂下游相容性標準包括蝕刻光阻、熱溫的穩定性、黏著性、化學 ...

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