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產品資訊 - 艾斯邁科技股份有限公司

在半導體晶圓的生產中，光罩檢查裝置是微影製程前檢查光罩缺陷的設備。隨著光罩微距(CD) 越做越小，除了製程開發越來越複雜外，光罩檢測也越來越難，缺陷之大小、形態 ...

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