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微影技術條件 - 軟體兄弟

微影技術 (Photolithography). • 暫時塗佈光阻在晶... 光阻必須能容許較寬製程條件. •塗佈(Coating) ... , 奈米微影技術目前進展到22奈米技術節點之製程及機台開發， ...

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