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全球半導體微影設備大廠荷商ASML 「EUV全球技術培訓中心 ...

2010年ASML提供第一台EUV微影設備原型機給台積電進行研發工作，為全球微影技術開創新紀元；2017年ASML 交付第一台量產型EUV微影系統給台積電，寫下商用EUV製程技術的新里程 ...

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