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1. 何謂EUV 微影？

目前的EUV 微影技術，包含光源在內已進入開發階段，期許能在數年內達到實用化。量產的必要光源強度要求雖為200 W 以上，但實用面尚只達到10 W 左右，強度偏低，目前急需 ...

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