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光觸媒科技應用於微影製程技術的開發 - 元智大學

微影技術 是光電、半導體相當重要的製作程序，目的在於將設計之圖案如電子電路線圖轉移至基材上，尤其是當元件的電晶體數目增多，其製造尺度由微米進入到奈米時，微影製程則 ...

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