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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

幸而最近在光學微影設備之技術上有新的創新技術，稱為液體中曝光微影術（Liquid immersion lithography；LIL，或稱浸潤式微影），可以讓ArF微影術延伸到65nm，同樣的也讓F2 ...

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