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林本堅發明浸潤式微影技術 - 自由財經

記者洪友芳／特稿光學微影是半導體重要的關鍵技術，林本堅被稱為微影技術的先驅者，當前全球半導體高階製程所用的浸潤式微影技術，就來自他的發明； ...

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