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微影技術
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衝破晶圓製造瓶頸的一滴水 - 龍騰文化
微影技術 工具的製造商,在製作可投射157奈米波長機台的過程中,遇到無數困難。要從一代微影技術升級到新一代,必須採用全新的雷射、光罩(鏤空板,可讓雷射在晶 ...
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