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微影技術
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https://ceecs.nkust.edu.tw/pdf/202101211328070.pdf
半導體微影技術光學培訓班
台積電已著手2奈米技術研發,預期會持續採用極紫外光(EUV)微影技術。半導體微影. 製程是半導體產業的核心技術,其基本組成為:曝光光源、照明系統、光照、投影鏡頭系統、.
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