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下世代微影技術之進展與挑戰(上) - 材料世界網

微影技術 主要是用於圖案化(Patterning)矽晶圓表面，以形成積體電路圖形，線寬解析度愈高，則積體電路單一元件晶胞(Unit Cell)的面積愈小，產品晶 ...

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