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半導體光學微影技術的光學原理 - 工業技術研究院

半導體製程中要將晶片上. 的電路更縮小化，就需要更短波長的雷射光源，或是使用浸潤式光學微影製程等方式，以便在. 光刻製程中，用雷射光刻出間距更小的電路圖。光線的波長 ...

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