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光阻劑- 微影製程

第七章: 微影製程. • 暫時在晶圓上塗佈光阻劑 ... 高分子有較佳之抗化學蝕刻能力. • 未曝光部分將溶於顯影劑 ... 對製程條件的改變有較佳之容忍性.

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