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微影技術ASML

KrF(248 nm)製程發展到目前的ArF(193 nm)奈米製程技術，蝕刻和檢測的循環。 · PDF 檔案微影技術的光源名稱波長(nm) 所應用的圖形尺寸範圍(µm) G-線436 0.50 水銀燈H- ...

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