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微影技術演進
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台积电浸润式显影功臣林本坚 - 百度文库
看來「一沙一世界、一奈米一宇宙」 這句話用在他身上再洽當也不過了。 張忠謀的愛將林本堅讓台積電在未來八年技術領先未來半導體發展關卡在微影技術,全球 ...
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