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微影技術演進
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ISSCC 2021:台積電勾勒半導體世界創新未來- 電子技術設計
傳統上,半導體製程微縮仰賴微影技術;現在,藉由極紫外光微影(EUV)技術,產業 ... 設計的重要領域帶來進展,這通常無法因為製程技術演進而有所改善。
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