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讓摩爾定律成真的關鍵： 微影技術— 影響七十億以上個未來

製程中的微影（lithography）技術可說是整個半導體工業相當關鍵的製程，因為目前 ... 來都是採用此法，但現今由於製程持續地演進，已經逐漸逼近光學微影解析度的極限。

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