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微影技術演進
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浸潤式微影波長制程簡介和浸潤式微影術 - Prdceg
因為光的波長縮短到134奈米,EUV)微影技術還不能用於22奈米節點邏輯的早期開發 ... 奈米微影技術在半導體製程技術藍圖上已經接近終點,將主宰新裝置和新技術的演進;新 ...
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